概述
炉系统包括炉体、高真空系统或排气系统、工作气系统、电源、温度控制仪表以及炉架。
有效热区尺寸: 最小: 内径76.2 mm (3”), 高101.6 mm (4”)；最大: 内径 355.6 mm (14”), 高609.6 mm (24”)。 在高真空、惰性气体、还原气、或氧化气氛下使用,工作温度可达3000°C。最高真空度10-6 torr (10-4 Pa)。炉腔回充压力: 2 PSIG (14 KPa)。
炉体通常安装在支架上,真空系统位于后面,电源／控制柜亦靠近炉体。
连接电、进水和排水等公辅设施,该设备即可工作。
在运输前,CVI将完全装配并测试,测试报告随机发给用户。
特点
- 设备成本低
- 使用成本低,效率高
- 操作使用方便
- 洁净、紧凑、真空密封结构
- 可以在真空、惰性气体、还原气氛或氧化气氛下工作
- 快速加热和冷却
- 均温性好,温度控制精度高
技术参数
| 热区尺寸: | 温度: |
|---|---|
| 3" Dia. x 4" to 12" High | Up to 1000°C |
| 4" Dia. x 5" to 18" High | 1650°C |
| 5" Dia. x 4" to 18" High | 2000°C |
| 6-1/2" Dia. x 8" to 20" High | 2750°C |
| 8" Dia. x 10" to 20" High | 3000°C |
| 10" Dia. x 10" to 24" High | 真空/微正压: 真空：10-6 Torr；微正压：14KPa(2 PSIG) |
| 12" Dia. x 12" to 24" High | |
| 14" Dia. x 12" to 24" High |
应用及设备描述
应用
- 钎焊
- 热处理
- 晶体生长
- 除气
- 陶瓷烧结
- 热处理
- 熔炼
- 烧结
- 热电偶校准 <
设备描述
基本炉体
基本炉体由双层不锈钢壁、水冷套,内有热区。热区为电阻加热。加热元件为难熔金属。隔热层为全金属。热区各部件易于维护检查。提供一炉腔,用于工件装载。
炉膛的整个内部设计按照最好的高真空标准进行设计,完全的表面加工以及严格的材料选择。炉体上有开孔,包括观察孔、热电偶、排气孔、惰性气体入口及出口、真空规等。具有Centorr特有的可旋转观察窗口。
打开顶部炉盖,从顶部装载。炉盖配置夹锁,炉腔可在正压下工作。
高真空系统
标准高真空系统包括高真空,扩散泵,冷阱,机械泵,手动、半自动或全自动阀系统,所有管路均为铜管路,Viton “O”形圈,以及组合电离规和双极热电偶真空仪器。
排气系统
在真空10-50 Microns (1-6.5 Pa)下工作或需要回充惰性气体或氮气前排气时,包括排气系统。包括机械真空泵、真空阀、以及管路。抽真空前有Line 过滤,有多种热电偶类型、真空仪表可供选择。
工作气系统工作气系统包括真空密封进气阀及泄气阀、Bourdon型压力－真空规以及管路。
电源系统
电源系统全部在立式电源柜中,包括: 可控硅电源控制器(也有饱和铁芯反应器),具有限流器、降压变压器、断电器、接触器、控制转换器、电流表、电压表、按钮、指示灯、水互锁等。
电力满足用户现场电压制式,单相或三相,50-60Hz。
温度控制仪表
Centorr可以提供从最简单的手动电源控制到复杂的控制仪表。包括自动闭环控制,由热电偶、电源转换器、或光学高温计传感器；以及与指示器－控制器,记录仪和编程器配合使用。有多种微处理器编程器可供选择。
炉体安装
炉体安装在开式的支架上。支架具有水平调节垫。
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