概述
Centorr 45 系列高温真空或可控气氛、冷壁、石墨管炉设计简洁,使用方便。
炉系统包括炉体、排气系统、工作气系统、电源、温度控制仪表以及炉架。
有效热区尺寸: 最小: 内径152.4 mm (6”), 高152.4 mm (6”)；最大: 内径 914.4 mm (36”), 高914.4 mm (36”)。氩气环境下最高工作温度 3000°C (5432°F)。排气组件可以达到10-50 Microns (1－6.7 Pa),炉膛可回充气至压力2 PSIG (14 KPa)。
炉体通常安装在支架上,真空系统位于后面(或侧面),电源／控制柜亦靠近炉体。
连接电、进水和排水等公辅设施,该设备即可工作。
在运输前,CVI将完全装配并测试,测试报告随机发给用户。
特点
- 设备成本低
- 使用成本低,效率高
- 操作使用方便
- 洁净、紧凑、真空密封结构
- 可以在真空、惰性气体、还原气氛或氧化气氛下工作
- 快速加热和冷却
- 均温性好,温度控制精度高
技术参数
| 热区尺寸: | 从内径152.4 mm (6”), 高152.4 mm (6”)到内径 914.4 mm (36”), 高914.4 mm (36”) |
|---|---|
| 工作温度: | 最高 1000°C (2012°F) 1650°C (3000°F) 2000°C (3632°F) 2500°C (4532°F) 2800°C (5072°F) 3000°C (5432°F) |
| 工作压力: | 正压2PSIG(14KPa,惰性气体)到真空6.5Pa |
基本炉体
基本炉体由双层不锈钢壁、水冷套,内有热区。热区为电阻加热。加热元件为难熔金属。隔热层也全部为金属。热区各部件易于维护检查。
炉膛的整个内部设计按照最好的高真空标准进行设计,完全的表面加工以及严格的材料选择。炉体上有开孔,包括观察孔、热电偶、排气孔、惰性气体入口及出口、真空规等。具有Centorr特有的可旋转观察窗口,带气扫功能。
打开炉膛顶部炉盖,炉盖可以气动升起,并侧面转开,方便装载工件。配备夹具,允许在轻正压下工作。
工作气系统
工作气系统包括真空密封进气阀及泄气阀、Bourdon型压力－真空规以及管路。
电源系统
电源系统全部在立式电源柜中,包括: 可控硅电源控制器(也有饱和铁芯反应器),具有限流器、降压变压器、断电器、接触器、控制转换器、电流表、电压表、按钮、指示灯、水互锁等。 电力满足用户现场电压制式,单相或三相,50-60Hz。
温度控制仪表
Centorr可以提供从最简单的手动电源控制到复杂的控制仪表。包括自动闭环控制,由热电偶、电源转换器、或光学高温计传感器；以及与指示器－控制器,记录仪和编程器配合使用。有多种微处理器编程器可供选择。
炉体安装
炉体安装在开式的支架上。支架具有水平调节垫。
抽气系统
在真空10-50 Microns (1-6.5 Pa)下工作或需要回充惰性气体或氮气前抽气时,需要抽气系统。包括机械真空泵、真空阀、以及管路。抽真空前有Line 过滤,有多种热电偶类型、真空仪表可供选择。
应用
- 钎焊、热处理、晶体生长、熔炼
- 烧结、陶瓷烧结、除气
- 热电偶校准
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