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CVI 3560系列共烧炉是Centorr Vacuum Industries 森特真空工业公司为“绿坯（Green parts）”工件全自动烧结的真空炉，自动顺序进行脱脂、烧结、以及金属化工艺，提供全自动、精确的温度及露点（气氛）控制。适用共烧材料包括：氧化铝 Al2O3、氮化铝 AlN、氧化铍等。
特点
- 全自动工艺：程序化温度与露点控制系统；
- 温度均衡：上部与下部加热体可单独调整，实现卓越的均温性；
- 报警系统：冷却水、气体、与电力之间的安全联锁；
- 烧结高纯度产品：难熔金属结构，无碳，确保烧结出高纯度产品；
- 方形热区设计：方便装载，利用率高；
- 方便装料/卸料。
技术规格
3560 系列共烧炉尺寸
| 可用空间 宽x高x长, in. (mm) | 体积 立方英尺 | 型号 |
|---|---|---|
| 8 x 8 x 20 (200 x 200 x 500) | 0.74 | 8820 |
| 12 x 12 x 12 (300 x 300 x 300) | 1 | 121212 |
| 12 x 12 x 24 (300 x 300 x 600) | 2 | 121224 |
| 12 x 12 x 36 (300 x 300 x 900) | 3 | 121236 |
| 18 x 12 x 36 (450 x 300 x 900) | 4.5 | 181236 |
| 18 x 12 x 48 (450 x 300 x 1200) | 6 | 181248 |
特点
| 技术规格 | 工作温度: 真空或惰性气体N2,Ar气氛：2200°C 100%氢气H2气氛: 1900°C |
| 前装载卧式炉膛 | 双层壁冷壁设计，不锈钢内壁，水冷套前后炉门。 |
| 加热元件 | E钼棒或钨棒，上下加热体分别独立调节实现最佳均温性 |
| 隔热层 | 全金属隔热层，随不锈钢热区框架可以整体移出，方便热区维修 |
| 露点控制系统 | 配置温控器及电子水平控制的不锈钢喷口；通过混合湿的气体和干的气体来控制露点水平；气体管线具有热循装置避免冷凝；DSP700程序控制器、湿度表以及自动阀门等自动程序控制露点水平。 |
| 氢气H2系统 | G10503A氢气流通气体系统，包括额外的可燃气体炉门安全夹锁、压力安全泄压口、自动清扫气系统、以及相关安全联锁等； |
| 真空系统 | 全自动真空/可控气氛控制系统。 |
| 电源 | 可变电抗3相输入电源，分别为上下加热元件提供电源；水冷电缆。 |
| 控制系统 | NEMA-1控制柜，基于微处理器的程序控制器 Honeywell DCP700; 工艺程序记录仪 Honeywell DPR1500, 记录温度、气压等工艺数据；超温保护系统，使用独立的W5型热电偶；电表监控各路电源；安全联锁等； |
| 公辅设施 | 电力：380V/3相/50Hz；冷却水：水压 2.1-2.8 公斤力/平方厘米（0.2-0.34 MPa），最高水温26°C；压缩空气：压力7公斤力/平方厘米（0.68MPa)。 |
| 料车 | 电动液压升降料车，具有导轨与自动停止点。 |
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