概述

        基本的炉系统包括全不锈钢炉膛,炉膛内为电阻加热热区。热区设计利于装载工件与检查维修。炉膛内表面经过精密加工以适应高真空工艺的要求。热区的选材和加工经过精心设计以适应工作温度。炉膛为观察孔、热电偶和工艺气体预留了多个接口。CVI特别设计的可旋转观察镜做为标准配置提供。

        进、出炉膛的线材采用水冷降温。工艺气体从热区的中间部位吹入热区,气流从热区向外流动,避免空气从热区外向热区内流动给工件造成污染。

特点

  • 设备成本低
  • 使用成本低,效率高
  • 结构紧凑-占地面积小
  • 操作使用方便
  • 无气体泄漏问题-无真空要求
  • 水冷降温保证线材不会互相粘连
  • 均温性好,温度控制精度高
  • 效果明显好于其它工艺设备

技术参数

占地面积:4' x 6' (1.2M x 1.8M)
电力:15 KVA (单相或3相)
冷却水:3 GPM @50 PSI and 70°F
(11.4 LPM @3.5 Kgs/cm2 and 21°C)
工作温度:Up to 1600°C
热区尺寸:4" 直径 x 12" 高
(102 mm 直径 x 305 mm 高)
热区材质:难熔金属
炉体:全不锈钢
内炉膛:水冷铜质
进/出线材:水冷不锈钢
气氛:氩气
温度控制:带温度显示的温度控制器,“C”型热电偶
装料:前开门
气体净化器:Centorr Vacuum Industries Model 2A-100-SS
线材数量:8到12根
线材直径:0.005" 到 0.030" (0.13 mm 到 0.76 mm)

设备信息

典型炉系统包含以下部件:

  • 一个基本炉体
    • 炉膛组件
    • 进出电缆
    • 加热体
    • 隔热屏
  • 加热电源
  • 温度控制器
  • 工艺气体系统
  • 气体净化器或带有氧监视器的气体净化器
  • 其它选装件和备件

基本炉体

        基本的炉系统包括全不锈钢炉膛,炉膛内为电阻加热热区。热区设计利于装载工件与检查维修。炉膛内表面经过精密加工以适应高真空工艺的要求。热区的选材和加工经过精心设计以适应工作温度。炉膛为观察孔、热电偶和工艺气体预留了多个接口。CVI特别设计的可旋转观察镜做为标准配置提供。

        进、出炉膛的供电电缆采用水冷电缆。工艺气体从热区的中间部位吹入热区,气流从热区向外流动,避免空气从热区外向热区内流动给工件造成污染。

加热供电系统

        加热供电系统包含带有电流限制的可控硅功率控制器(或饱和电抗器),加热变压器、断路器、控制变压器、电流表、电压表、按钮、指示灯、冷却水路安全互锁。所有这些都连接好被安装在一个美观的落地式控制柜中。

        电力需求为50或60赫兹,单相或三相交流电源,容量(KW)会提前告知客户。

温度控制器

        CVI可以提供从简单的手动温度控制到最精密的控制器的各种选择。通常情况下,该系列炉系统使用一台带温度显示的温度控制器,使用“C”型热电偶进行温度测量。温度记录仪可以做为选装件提供。

工艺气体系统

        工艺气体系统带有三个带可调节阀门的气体流量表,还有低气压报警和安全互锁。

气体净化器或净化器加氧监视器

        工艺气体必须进行净化才能使用。我们推荐使用CVI的2G-100-SS型带有氧监视器的气体净化器。

选装件与备件

        对于不同的工艺CVI提供多种选装件供客户选择。

        注:炉体安装支架和线材供应/收集机构由客户自行购买。