概述
        基本的炉系统包括全不锈钢炉膛,炉膛内为电阻加热热区。热区设计利于装载工件与检查维修。炉膛内表面经过精密加工以适应高真空工艺的要求。热区的选材和加工经过精心设计以适应工作温度。炉膛为观察孔、热电偶和工艺气体预留了多个接口。CVI特别设计的可旋转观察镜做为标准配置提供。
        进、出炉膛的线材采用水冷降温。工艺气体从热区的中间部位吹入热区,气流从热区向外流动,避免空气从热区外向热区内流动给工件造成污染。
特点
- 设备成本低
- 使用成本低,效率高
- 结构紧凑-占地面积小
- 操作使用方便
- 无气体泄漏问题-无真空要求
- 水冷降温保证线材不会互相粘连
- 均温性好,温度控制精度高
- 效果明显好于其它工艺设备
技术参数
占地面积: | 4' x 6' (1.2M x 1.8M) |
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电力: | 15 KVA (单相或3相) |
冷却水: | 3 GPM @50 PSI and 70°F (11.4 LPM @3.5 Kgs/cm2 and 21°C) |
工作温度: | Up to 1600°C |
热区尺寸: | 4" 直径 x 12" 高 (102 mm 直径 x 305 mm 高) |
热区材质: | 难熔金属 |
炉体: | 全不锈钢 |
内炉膛: | 水冷铜质 |
进/出线材: | 水冷不锈钢 |
气氛: | 氩气 |
温度控制: | 带温度显示的温度控制器,“C”型热电偶 |
装料: | 前开门 |
气体净化器: | Centorr Vacuum Industries Model 2A-100-SS |
线材数量: | 8到12根 |
线材直径: | 0.005" 到 0.030" (0.13 mm 到 0.76 mm) |
设备信息
典型炉系统包含以下部件:
- 一个基本炉体
- 炉膛组件
- 进出电缆
- 加热体
- 隔热屏
- 加热电源
- 温度控制器
- 工艺气体系统
- 气体净化器或带有氧监视器的气体净化器
- 其它选装件和备件
基本炉体
        基本的炉系统包括全不锈钢炉膛,炉膛内为电阻加热热区。热区设计利于装载工件与检查维修。炉膛内表面经过精密加工以适应高真空工艺的要求。热区的选材和加工经过精心设计以适应工作温度。炉膛为观察孔、热电偶和工艺气体预留了多个接口。CVI特别设计的可旋转观察镜做为标准配置提供。
        进、出炉膛的供电电缆采用水冷电缆。工艺气体从热区的中间部位吹入热区,气流从热区向外流动,避免空气从热区外向热区内流动给工件造成污染。
加热供电系统
        加热供电系统包含带有电流限制的可控硅功率控制器(或饱和电抗器),加热变压器、断路器、控制变压器、电流表、电压表、按钮、指示灯、冷却水路安全互锁。所有这些都连接好被安装在一个美观的落地式控制柜中。
        电力需求为50或60赫兹,单相或三相交流电源,容量(KW)会提前告知客户。
温度控制器
        CVI可以提供从简单的手动温度控制到最精密的控制器的各种选择。通常情况下,该系列炉系统使用一台带温度显示的温度控制器,使用“C”型热电偶进行温度测量。温度记录仪可以做为选装件提供。
工艺气体系统
        工艺气体系统带有三个带可调节阀门的气体流量表,还有低气压报警和安全互锁。
气体净化器或净化器加氧监视器
        工艺气体必须进行净化才能使用。我们推荐使用CVI的2G-100-SS型带有氧监视器的气体净化器。
选装件与备件
        对于不同的工艺CVI提供多种选装件供客户选择。
        注:炉体安装支架和线材供应/收集机构由客户自行购买。
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